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備注：上述技術指標如有更新，恕不另行通知。用戶如有特殊要求，可專門設計定制。另可定制126 nm光源。
172nm準分子紫外燈
準分子光源特點：
□ 單色性好，紫外輸出能量集中，紫外輸出強度高,可達100mW/cm2；
□ 非相干光有利于大面積加工；
□ 無傳統光源固有的電極腐蝕現象，使用壽命極大加長；
□ 可隨時瞬間開啟熄滅，無需預熱，無需快門，開關次數不影響使用壽命；
□ 開啟和運行不受周圍環境溫度影響；
□ 冷光源，不產生紅外輸出，對被處理對象無明顯加熱效應；
□ 綠色環保。制造無需用汞，無二次污染和廢舊回收處理問題。
172 nm波長準分子燈應用領域：
波長為172nm的準分子真空紫外光子能量高達7.2 eV，足以打開大多數分子鍵，能實現傳統低壓汞燈很難或根本不能實現的光化學反應，可廣泛應用于：
□ 表面清洗?？捎糜诰A和平板顯示器制造的清洗過程，清洗掩摸，去除光刻膠；
□ 表面刻蝕和改性（如聚酰亞胺，氟材料等）；
□ 低溫光化學氣相沉積(Photo-CVD)。如電子薄膜Ta2O5和HfO2等；
□ 光氧化、光退火。如對電子薄膜SiO2進行處理以改善其化學計量性；
□ 室溫下光催化金屬化。如在塑料表面鍍金屬電極；
□ 表面活化，以增加表面張力和濕潤性；
□ 有機降解。除總有機碳（TOC）制取超純水，分解農藥殘留，印染廢水的光化學脫色；
□ 高純臭氧發生。
172nm準分子燈光譜圖
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